삼성전자, 日대체 불화수소 일부 라인 투입… 국산제품도 포함
삼성전자, 日대체 불화수소 일부 라인 투입… 국산제품도 포함
  • 김창권 기자
  • 승인 2019.09.04 15:50
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삼성전자 클린룸 반도체 생산현장 /사진=삼성전자
삼성전자 클린룸 반도체 생산현장 /사진=삼성전자

[한스경제=김창권 기자] 삼성전자가 반도체 공정에 일본의 고순도 불화수소(에칭가스) 일부를 국산품 등으로 대체한 것으로 확인됐다.

4일 업계에 따르면 삼성전자는 최근 일부 반도체 생산라인 및 제품에 일본산 불화수소 대체품을 투입했다. 새로 투입된 불화수소에는 국내 업체가 생산한 제품도 포함된 것으로 알려졌다. 

삼성전자는 민감도가 낮은 공정부터 점진적으로 대체품 투입을 확대해나간다는 계획이다.

앞서 일본은 지난 7월4일부터 한국에 대해 에칭가스, 플루오린 폴리이미드, 포토레지스트 등 3개 품목의 수출규제에 들어갔다. 이후 삼성전자는 수출규제 직후부터 일제 에칭가스를 대체할 수 있도록 국내외 제품의 테스트를 진행해왔고, 이번에 투입된 불화수소는 대만, 중국 등에서 원료를 받아 만든 것으로 알려졌다. 

에칭가스는 반도체 제조 공정에서 회로를 새길 때 사용하는 필수 소재로, 업계는 테스트를 마치고 생산라인에 적용하기까지 최소 3∼6개월의 시간이 소요될 것으로 전망했지만 실전 투입이 이뤄지면서 소재 다양화가 기대되고 있다.

국내외 에칭가스를 테스트 중인 SK하이닉스는 아직 대체품을 양산에 투입하지는 않고 있는 것으로 알려졌다.