[한스경제=김준희 수습기자] 테스는 기판지지유닛과 이를 구비한 기판처리장치에 대한 특허권을 취득했다고 2일 공시했다.

본 특허는 기판지지유닛 히터샤프트 중공부를 이용해 기판 중앙부 온도 제어를 가능하게 하는 기판지지유닛과 이를 구비한 기판처리장치에 대한 것이다.

테스는 특허 활용계획에 대해 “장비 제조 시 특허기술 적용을 통해 제품경쟁력을 강화할 것”이라고 말했다.

김준희 수습기자 kjun@sporbiz.co.kr